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Hyper MF / MF-U


特点：
• 世界级高精度XY 测量精度为(0.9+3L/1000)μm。
• 可选择LAF (激光自动对焦) 功能。
• 良好的操作性能和重复精度。
• 三轴电动控制。
• 标配电动自动聚焦装置。  
 
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